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赵立波 |
主要从事微纳制造与先进传感器技术研究，致力于特种压阻式传感器、谐振式传感器、量子传感器以及微加工超声换能器等器件的敏感机理、制备工艺与测试标定等核心关键技术研究。
1. 个人简介
赵立波，男，1978年7月生，山东省海阳市人，中共党员，西安交通大学仪器科学与技术学院教授、博导，入选2019年度教育部“长江学者奖励计划”特聘教授，1996年9月-2007年5月分获西安交通大学本科、硕士和博士学位，2009年6月至2011年7月在清华大学制造工程研究所从事博士后研究，2014年9月-2015年9月在美国加州大学伯克利分校做访问学者。博士毕业后留校任教，现任仪器科学与技术学院执行院长、西安交通大学（烟台）智能传感技术与系统研究院院长；兼任中国机械工程学会理事以及微纳制造技术分会常务副主任委员、中国微米纳米技术学会微纳米制造及装备分会副理事长兼秘书长等，以及《Sensors International》和《智能感知工程》编委。
赵立波教授主要从事微纳制造与先进传感器技术研究，致力于特种压阻式传感器、谐振式传感器、量子传感器以及微加工超声换能器等器件的敏感机理、制备工艺与测试标定等核心关键技术研究，先后主持国家自然科学基金委重大项目课题和重点项目、重点研发计划项目等30余项；作为主要完成人，获得国家技术发明二等奖2项（排2、3）、国家科技进步二等奖1项（排8）、省部级科技奖励7项，以及陕西省普通本科高校高等教育教学成果特等奖1项（排6）等；荣获第十五届中国青年科技奖特别奖、全国优秀科技工作者、教育部新世纪优秀人才、中国机械工程学会青年科技成就奖、陕西青科技标兵及陕西青年科技奖等荣誉。
2. 受教育与学习经历
1) 2014/09－2015/09，加州大学伯克利分校，机械工程系，访问学者
2) 2009/06－2011/07，清华大学，精仪系制造工程研究所，博士后研究
3) 2003/03－2007/06，西安交通大学，机械工程学院，博士
4) 2000/09－2003/03，西安交通大学，机械工程学院，硕士
5) 1996/09－2000/07，西安交通大学，机械工程学院，学士
3. 研究工作经历
1) 2023/05－至今，西安交通大学，仪器科学与技术学院，教授，执行院长
2) 2017/02－2023/05，西安交通大学，机械工程学院，教授
3) 2015/10－2023/05，西安交通大学，机械工程学院仪器系，系主任
4) 2012/06－2023/05，西安交通大学，机械工程学院，博士生导师
5) 2011/12－2013/07，西安交通大学，机械工程学院，副教授，院长助理
6) 2011/01－2017/01，西安交通大学，机械工程学院，副教授
7) 2008/06－2023/05，陕西省微纳传感器工程技术研究中心，副主任
8) 2007/07－2010/12，西安交通大学，机械工程学院，讲师
主持了国家自然科学基金重大项目课题、重点基金项目、国家重点研发计划项目等多项，代表性项目如下：
1) 国家自然科学基金重点项目，52435010、柔性PMUTs曲面超声多参数触觉感知机理与关键技术研究、2025/01-2029/12、230万元、在研、主持。
2) 国家自然科学基金委重大项目课题，51890884、电静液驱动执行器热流固环境多源感知和智能健康监测、2019/1-2023/12、368万元、已结题、主持。
3) 国家自然科学基金委项目，51875449、基于耦合效应的高性能PMUTs工作机理与测试技术研究、2019/1-2022/12、60万元、已结题、主持。
4) 国家自然科学基金项目，51375378、基于水平剪切声表面波的新型黏度/密度传感器测量机理与关键技术研究、2014/01-2017/12、80万元、已结题、主持。
5) 国家自然科学基金青年项目，50905139、GPa量级MEMS耐高温超高压力传感器、2010/01-2012/12、20万元、已结题、主持。
6) 国家重点研发计划项目，2020YFB2009100、高性能MEMS高温温度传感器关键技术研发及工程应用、2020/10-2023/9、2788万元、已结题、主持。
7) 国防科技创新特区类项目，JZM-20190108、一体化***研究***、2018/10-2020/12、500万元、已结题、主持。
8) 安徽省重大专项（揭榜挂帅类项目），2022e03020002HZ、面向新一代超声诊疗的高性能MEMS换能器芯片关键技术研究、2022/11-2025/10、1000万元、在研、主持。
9) 陕西省“两链”融合重点专项，2023-LL-QY-35、微型高动态SOI基高温压力敏感芯片与传感器技术、2023/05-2026/05、1000万元、在研、技术负责人。
10) 陕西省科技创新团队项目，2024RS-CXTD-19、智能传感与测试技术创新团队、2024/01-2026/12、50万元、在研、主持。
11) 陕西省秦创原“科学家+工程师”队伍建设项目，2022KXJ-02、液体火箭发动机智能传感器研发、2022/01-2024/12、30万元、已结题、主持。
12) 陕西省杰出青年科学基金资助项目，2019JC-06、微纳制造与先进传感技术、2019/1-2021/12、30万元、已结题、主持。
1. 发表学术论文260余篇，参编教材与专著3部，并在在Springer出版著作中撰写2个章节。代表性论著如下：
1) 参编《机械精度设计基础》教材，蒋庄德、苑国英主编，西安交通大学出版社，2017年8月。
2) 参编《MEMS技术及应用》专著，蒋庄德主编，高等教育出版社，2018年11月。
3) 参编《MEMS压力传感器理论与技术》专著，蒋庄德主编，高等教育出版社，2023年8月。
4) Libo Zhao, Zhuangde Jiang, Zhikang Li, Yihe Zhao. Modeling of Electrostatically Actuated Microplates [M], In: Huang QA. (eds) Micro Electro Mechanical Systems, pp. 1-56, Micro/Nano Technologies, Vol. 2, Publisher: Springer, Singapore, ISBN: 978-981-10-2798-7, 2017.9.14.
5) Zhuangde Jiang, Yulong Zhao, Libo Zhao, Tingzhong Xu. High Temperature Silicon Pressure Sensors [M], In: Huang QA. (eds) Micro Electro Mechanical Systems, pp. 1-62, Micro/Nano Technologies, Vol. 2, Publisher: Springer, Singapore, ISBN: 978-981-10-2798-7, 2017.9.14.
6) Wendi Gao*, Yunfei Bai, Yujie Yang, Lanlan Jia, Yingbiao Mi, Wenji Cui, Dehua Liu, Adnan Shakoor, Libo Zhao*, Junyang Li*, Tao Luo*, D. Sun, Z. Jiang, Intelligent sensing for the autonomous manipulation of microrobots toward minimally invasive cell surgery. Applied Physics Reviews, 11(4): 041302(38pp.), 2024.12. (SCI: I2T5B, WOS: 001328831900001, IF: 11.9).
7) Mingzhi Yu, Yao Chen*, Yongliang Wang, Xiangguang Han, Guoxi Luo, Libo Zhao*, Yanbin Wang, Yintao Ma, Shun Lu, Ping Yang, Qijing Lin, Kaifei Wang*, and Zhuangde Jiang. Microfabricated Atomic Vapor Cells with Multi-Optical Channels Based on an Innovative Inner-Sidewall Molding Process [J]. Engineering, 35: 46-55, 2024.7. (SCI: WR0P4, WOS: 001256484800001, IF: 10.1)
8) Zhikang Li, Yihe Zhao, Gian Luca Barbruni, Jie Li, Zixuan Li, Jiawei Yuan, Ping Yang, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang, Sandro Carrara. Development of an Integrated CMUTs-based Resonant Biosensor for Label-free Detection of DNA with Improved Selectivity by Ethylene-glycol Alkanethiols [J]. Engineering, 41: 231-241, 2024.5. (SCI: C9M0F, WOS: 001292517700001, IF: 10.1).
9) Zhikang Li, Jijian Lu, Tian Ji, Yumeng Xue*, Libo Zhao*, Kang Zhao, Boqing Jia, Bin Wang, Jiaxiang Wang, Shiming Zhang* and Zhuangde Jiang. Self-Healing Hydrogel Bioelectronics [J]. Advanced Materials, 36(21): 2306350(51pp.), 2024.2. (SCI: SO5J4, WOS: 001160423000001, IF: 27.4).
10) Zhikang Li, Kang Zhao, Jiaxiang Wang, Bin Wang, Jijian Lu, Boqing Jia, Tian Ji, Xiangguang Han*, Guoxi Luo, Yilin Yu, Lu Wang, Min Li, Zhengjin Wang, Libo Zhao*. Sensitive, Robust, Wide-range, and High-consistency Capacitive Tactile Sensors with Ordered Porous Dielectric Microstructures [J]. ACS Applied Materials & Interfaces, 16(6): 7384-7398, 2024.2. (SCI: HS6Q8, WOS: 001160931700001, IF: 9.5).
11) Lu Wang, Zhenxuan Fei, Congsheng Duan, Xiangguang Han*, Min Li, Wendi Gao, Yong Xia, Chen Jia, Qijing Lin*, Yihe Zhao, Zhikang Li, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang, and Ryutaro Maeda. Self-Sustained and Self-Wakeup Wireless Vibration Sensors by Electromagnetic-Piezoelectric-Triboelectric Hybrid Energy Harvesting [J]. Applied Energy, 355: 122207(9pp.), 2023.11. (SCI: CH1M6, WOS: 001124271200001, IF: 11.2)
12) Yunyun Luo, Libo Zhao, Guoxi Luo*, Linxi Dong, Yong Xia*, Min Li, Ziping Li, Kaifei Wang*, Ryutaro Maeda, Zhuangde Jiang. Highly sensitive piezoresistive and thermally responsive fibrous networks from the in situ growth of PEDOT on MWCNT-decorated electrospun PU fibers for pressure and temperature sensing [J]. Microsystems & Nanoengineering, 9(1): 113(13pp.), 2023.9. (SCI: S0MX3, WOS: 001068208100002, IF: 8.006)
13) Mingzhi Yu, Libo Zhao, Xiangguang Han*, Chen Jia, Yong Xia, Ping Yang, Yun Zhang, Junjie Sun, Guangzhao Qin and Zhuangde Jiang. Development of a High-Performance Microaccelerometer with Position Independent Pure-Axial Stressed Piezoresistive Beams [J]. IEEE Transactions on Industrial Electronics, 70(8): 8546-8556, 2023.8. (SCI: I4OM9, WOS: 001002590500095, IF: 8.162)
14) Lu Wang, Zhenxuan Fei, Zutang Wu, Yao Ye, Youchao Qi, Jiuhong Wang, Libo Zhao*, Chi Zhang*, Yun Zhang, Guangzhao Qin, Zhuangde Jiang and Ryutaro Maeda. Wearable bending wireless sensing with autonomous wake-up by piezoelectric and triboelectric hybrid nanogenerator [J]. Nano Energy, 112: 108504(9pp.), 2023.7. (SCI: J0CR6, WOS: 001006374400001, ISSN: 2211-2855)
15) Jiawei Yuan, Zhikang Li*, Qi Ma, Jie Li, Zixuan Li, Yihe Zhao, Shaohui Qin, Xuan Shi, Libo Zhao*, Ping Yang, Guoxi Luo, Xiaozhang Wang, Kwok Siong Teh, Zhuangde Jiang. Noninvasive fluid bubble detection based on capacitive micromachined ultrasonic transducers [J]. Microsystems & Nanoengineering, 9(1): 20(12pp.), 2023.2. (SCI: 9E8TO, WOS: 000937052300002, IF: 8.006)
16) Wendi Gao, Zhixia Qiao, Xiangguang Han, Xiaozhang Wang, Adnan Shakoor, Cunlang Liu, Dejiang Lu*, Ping Yang, Libo Zhao*, Yonglu Wang, Jiuhong Wang, Zhuangde Jiang, Dong Sun. A MEMS Sensors Based on a Laterally Movable Gate Field-Effect Transistor (LMGFET) with a Novel Decoupling Sandwich Structure [J]. Engineering, 21: 61-74, 2023.2. (SCI: D6FJ5, WOS: 000969666000001, IF: 12.834)
17) Zhikang Li, Shiming Zhang*, Yihang Chen, Haonan Ling, Libo Zhao*, Guoxi Luo, Xiaocheng Wang, Martin C. Hartel, Hao Liu, Yumeng Xue, Samad Ahadian, Nureddin Ashammakhi, Mehmet R. Dokmeci, Zhuangde Jiang and Ali Khademhosseini*. Gelatin methacryloyl-based tactile sensors for medical wearables [J]. Advanced Functional Materials, 30(49): 2003601(11pp.), 2020.12. (SCI: PB8PB, WOS: 000566384500001, IF: 16.836)
18) Libo Zhao∗, Yingjie Hu, Rahman Hebibul, Yong Xia, Linya Huang, Yulong Zhao, Zhuangde Jiang. Density measurement sensitivity of micro-cantilevers influenced by shape dimensions and operation modes [J], Sensors and Actuators B: Chemical, 245: 574-582, 2017.2. (SCI: ER4HW, WOS: 000398760700069, IF: 5.401)
19) Zhikang Li, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang, Zhiying Ye, and Yulong Zhao. An improved method for the mechanical behavior analysis of electrostatically actuated microplates under uniform hydrostatic pressure [J], IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems, 24(2): 474-485, 2015.4. (SCI: CF1BI, WOS: 000352278200024, IF: 1.915)
20) Guiming Zhang, Libo Zhao*, Longqi Xu, Zhuangde Jiang, Yulong Zhao, Xiaopo Wang, and Zhigang Liu. Active Frequency Tuning for Magnetically Actuated and Piezoresistively Sensed MEMS Resonators [J], IEEE Electron Device Letters, 34(7): 921-923, 2013.7.（SCI: 208NL, WOS: 000323685700033, IF:2.789）
2. 发明专利情况：已授权100余项，代表性专利如下：
序号 | 发明专利名称 | 授权专利号 | 授权 时间 | 主要发明人 | 本人排名 |
1 | Method of on-line rapid fluid density measurement using a piezoresistive micro-cantilever | US 13/658,639 （美国专利） | 2015.11.10 | 蒋庄德、张桂铭、赵立波等 | 3 |
2 | 一种耐高压MEMS压力传感器封装结构和封装方法 | ZL 202210822045.1 | 2024.7.26 | 赵立波、樊姝、韩香广等 | 1 |
3 | 一种压阻梁应力集中微压传感器芯片及其制备方法 | ZL 202110462455.5 | 2022.12.30 | 赵立波、李学琛、韩香广等 | 1 |
4 | 一种基于SOI工艺的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法 | ZL 202111595510.4 | 2022.11.11 | 赵立波、谭仁杰、高文迪等 | 1 |
5 | 一种MEMS电容式六轴力传感器芯片及其制备工艺 | ZL 202111595513.8 | 2022.11.11 | 赵立波、谭仁杰、韩香广等 | 1 |
6 | 基于电容检测原理的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法 | ZL 202111592764.0 | 2022.11.11 | 赵立波、谭仁杰、黄琳雅等 | 1 |
7 | 一种压电压阻复合式触觉传感器及制备方法 | ZL 202011035525.0 | 2022.9.27 | 赵立波、罗运运、夏勇等 | 1 |
8 | 一种基于倒装芯片的温度压力集成传感器及其封装方法 | ZL 202010981260.7 | 2021.9.7 | 赵立波、王李、韩香广等 | 1 |
9 | 一种全有机材料制备的压电式柔性压力传感器及制备方法 | ZL 202011035503.4 | 2021.8.13 | 赵立波、罗运运、夏勇等 | 1 |
10 | 一种原子磁强计的MEMS气室碱金属原子源选择方法 | ZL 202010403189.4 | 2021.5.28 | 赵立波、马银涛、罗国希等 | 1 |
11 | 一种混合驱动MUT单元结构及其参数化激励方法 | ZL 201910702689.5 | 2020.10.27 | 赵立波、徐廷中、郭帅帅等 | 1 |
12 | 一种具有纯轴向变形敏感梁的面外压阻式加速度计芯片及其制备方法 | ZL 201910683513.X | 2022.10.25 | 赵立波、马银涛、于明智等 | 1 |
13 | 一种压电发射电容感知高性能MUT单元及其制备方法 | ZL 201910702669.8 | 2020.8.18 | 赵立波、郭帅帅、徐廷中等 | 1 |
14 | 一种MEMS直拉直压式两轴加速度计芯片及其制备方法 | ZL 201710916278.7 | 2019.10.11 | 赵立波、于明智、蒋维乐等 | 1 |
15 | 一种基于面内谐振的MEMS流体黏度传感器芯片及其制备方法 | ZL 201710538627.6 | 2019.10.11 | 赵立波、黄琳雅、胡英杰等 | 1 |
16 | 一种浮雕式岛膜应力集中结构微压传感器芯片及制备方法 | ZL 201510130249.9 | 2017.3.29 | 赵立波、徐廷中、蒋庄德等 | 1 |
17 | 一种磁激励压阻拾振式MEMS谐振器的主动频率调谐方法 | ZL 201310143659.8 | 2016.1.13 | 赵立波、张桂铭、蒋庄德等 | 1 |
18 | 基于CMUT的海洋生化物质监测传感器及其制备与测量方法 | ZL 201310364961.6 | 2015.11.30 | 赵立波、李支康、蒋庄德等 | 1 |
19 | 一种基于 CMUT 的温度传感器及其制备方法与应用方法 | ZL 201310084404.9 | 2015.4.29 | 赵立波、叶志英、李支康等 | 1 |
20 | 一种侧腔充油结构的圆筒式超高压力传感器 | ZL 201310091705.4 | 2014.10.15 | 赵立波、郭鑫、蒋庄德等 | 1 |
21 | 一种基于 CMUT 的生化传感器及其制备方法 | ZL 201110399566.2 | 2014.8.6 | 赵立波、李支康、蒋庄德等 | 1 |
22 | 一种硅杯结构的热扩散率传感器芯片及其制备方法 | ZL 201210201502.1 | 2014.7.2 | 赵立波、周睿、蒋庄德等 | 1 |
23 | 具有双惠斯通全桥结构的 MEMS 流体密度传感器芯片及制备方法 | ZL 201110156059.6 | 2014.6.4 | 赵立波、黄恩泽、张桂铭等 | 1 |
24 | 一种用于痕量生化物质检测的CMUT及其制备方法 | ZL 201110399567.7 | 2014.4.23 | 赵立波、李支康、蒋庄德等 | 1 |
25 | 一种电容式微加工超声传感器及其制备与应用方法 | ZL 201210068766.4 | 2014.3.12 | 赵立波、李支康、蒋庄德等 | 1 |
26 | 一种基于MEMS技术的热扩散率传感器芯片及其制备方法 | ZL 201110401838.8 | 2014.1.29 | 赵立波、周睿、蒋庄德等 | 1 |
27 | 一种采用压阻式微悬臂梁在线快速测量流体密度的方法 | ZL 201210093049.7 | 2014.1.19 | 赵立波、张桂铭、蒋庄德等 | 1 |
28 | 一种复合式MEMS密度传感器 | ZL 201210126237.5 | 2013.11.6 | 赵立波、徐龙起、黄恩泽等 | 1 |
29 | 一种双C型压电式动态轴重传感器 | ZL 201110081036.3 | 2013.4.17 | 赵立波、梁建强、赵玉龙等 | 1 |
30 | 基于MEMS技术的同时测量流体密度、压力和温度的集成流体传感器 | ZL 201110180191.0 | 2013.3.13 | 赵立波、黄恩泽、张桂铭等 | 1 |
3. 科研获奖：获国家技术发明二等奖2项、国家科技进步二等奖1项、其他省部级奖励7项。
序号 | 奖项名称 | 奖励类别与等级 | 获奖时间 | 排名 |
1 | 高通量多靶标核酸自动化定量检测关键技术及产业化应用 | 国家科技进步奖、二等奖 | 2021.9 | 第8 |
2 | 高动态MEMS压阻式特种传感器及系列产品 | 国家技术发明奖、 二等奖 | 2017.12 | 第2 |
3 | 耐高温压力传感器设计、制造关键技术及系列产品开发 | 国家技术发明奖、 二等奖 | 2007.02 | 第3 |
4 | 紧凑型数字电容式MEMS三轴一体加速度传感器关键技术及产业化 | 中国仪器仪表学会科技进步奖、一等奖 | 2022.10 | 第14 |
5 | 多靶标高通量核酸自动化定量检测关键技术及产业化应用 | 陕西省科学技术进步奖、一等奖 | 2020.4 | 第7 |
6 | 危化品安全储运状态检测MEMS传感器及系统 | 陕西省科学技术奖、一等奖 | 2012.09 | 第5 |
7 | 棉条检测硅微传感器的研制 及其应用 | 陕西省科学技术奖、一等奖 | 2005.06 | 第3 |
8 | 耐高温压力传感器设计、制备技术及系列产品开发 | 教育部技术发明奖、一等奖 | 2006.01 | 第3 |
9 | SOI（梁膜结合）耐高温压力 传感器 | 西安市科学技术奖、一等奖 | 2005.06 | 第3 |
10 | 特种/极端环境高动态MEMS压力传感器研发及产业化 | 江苏省科学技术奖、三等奖 | 2015.01 | 第5 |
4. 主要荣誉称号
1) 2021年，入选2019年度教育部“长江学者奖励计划”特聘教授
2) 2019年，获第十五届中国青年科技奖特别奖
3) 2016年，获全国优秀科技工作者称号
4) 2015年，获中国机械工程学会青年科技成就奖
5) 2014年，获第十届陕西青年科技奖，及第十届陕西青年科技标兵
6) 2013年，荣获第三届“西安青年科技人才奖”
7) 2012年，被评选为“陕西省青年科技新星”
8) 2010年，入选教育部“新世纪优秀人才支持计划”
